激光波长：1.06μm
激光平均功率：10W
激光重复频率：20kHz～100kHz（连续可调）
划片最小线宽：10μm
最大切割速度：100mm/s
工作台：幅面350×350mm / 行程320×320mm
工作方式：双气仓真空吸附，T型台双工位交替工作。
冷却方式：强迫风冷
使用电源：220V/50Hz/1kVA
与第二代YAG激光划片机比较：
1、 光束质量更好（标准基模），切缝更细（第二代的五分之一），边沿更平整光滑；
2、 转换效率更高，运行成本更低（第二代的五分之一）；
3、 真正免维护，不间断连续运行，无消耗性易损件更换；
4、 设备体积更小（第二代的四分之一）。
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